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化学工学 920

姓名:林**

性别:男

国籍:韩国

联系电话:0631-5651499

E-Mail:xinhanrc@163.com

教育经历

首尔大学工学院化学生物工学部 学士学位
首尔大学工学院化学生物工学系 硕士学位
首尔大学工学院化学生物工学部 博士学位

研究方向

1. 半导体工艺
金属互连
上限过程

2. 能源材料开发
用于燃料电池,水分和二氧化碳转换的电催化剂
太阳能电池的SI/非SI无机半导体

3. 材料的电化学特性评价及分析
电化学材料的电化学反应
电极/电解质界面
 

主要成果

专利
1. 金属种子层升级器包括烯丙基醇和使用相同的金属种子层的方法
2. 半导体装置和金属薄膜形成法
3. CU CMP的上限组成

论文
1. 低成本太阳能电池中光活性硅薄膜的电沉积
2. 燃料电池氧还原反应用洋葱状pt端Pt-Cu双金属纳米电催化剂的制备
3. 大表面积多孔铟电极用于N2O的有效电还原
4. 以肼为还原剂化学沉积Ru衬底上Cu生长现象的研究
5. 全湿金属化过程中在SiO2衬底化学沉积NiWP阻挡层上直接电沉积Cu
6. 用添加剂衍生法电沉积低电阻率和提高硬度的Cu薄膜
7. Cu化学沉积中有机添加剂的n-原位透射率测定
8. 用声化学方法播种Cu化学沉积在Cu金属化中的应用
9. 诱导Cu均匀生长对化学镀Cu种层形成的影响
10. 氟碳酸乙烯对电化学电池性能及非晶MoO2锂离子二次电池负极表面化学的影响