电子工学 884-新韩网

电子工学 884

姓名：李**

性别：男

国籍：韩国

联系电话：0631-5651499

E-Mail：xinhanrc@163.com

教育经历

庆北大学电子工程系学士学位
庆北大学电子工程系硕士学位
庆北大学电子工程系博士学位

研究方向

集成电路制造工艺
半导体元件
半导体传感器及系统

主要成果

论文：
1. 水溶性玻璃基板作为可生物降解固态器件的平台
2. 等离子体增强原子层沉积制备SiOC(-H)薄膜的特性
3. 催化剂对镍膜形成的影响及界面粗糙度的改善
4. 紫外辐照对梳状电容器结构低介电常数SiOC(H)薄膜漏电流及介质击穿特性的影响
5. 等离子辅助原子层沉积镍硅化物薄膜的界面特性

济州大学

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