研究成果:
开发微细结构及机械特性评价技术
为光模块开发微压电位移驱动元件
耐磨系难加工金属复合材料的制造
利用CCVD制造Ni-基超合金保护膜研究
研究课题:
1. 利用流动及凝固模拟的注塑及压铸产品的multicavity模具设计技术人才培养事业
2. 利用RF sputter开发光学镜片整形用模具的c-BN保护涂层
3. 半导体工程领域人力培养事业
4. 电子零件用超精密超薄铝压铸零件材料技术开发
5.根据燃烧化学沉积法开发二氧化硅涂层技术
论文:
1. Al和Cr薄膜加工过程中应力向拉伸侧转移的研究
2. 晶粒尺寸和薄膜厚度对铜薄膜热膨胀系数的影响
3. HMDS前驱体制备SiO2保护层的燃烧CVD方法
4. 晶粒尺寸和薄膜厚度对FCC金属薄膜热膨胀系数的影响
5. 表面粗糙度对Cu薄膜原位内应力行为的影响